Обложка книги Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах, автор авторов, Коллектив

Хочу прочитать
Читаю сейчас Прочитана
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Издательство
ФГУП «Издательство СО РАН»
Год
2011
Жанр
Купить электронную книгу
299,00 ⃏
Купить и скачать
* После покупки Вы сможете скачать полную версию в epub, fb2, pdf и др.
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
Другие книги серии
Другие книги автора
Возможно, Вас заинтересует
Цитаты
Добавить цитату
Отзывы